《Engineering》极端制造前沿学术专题研讨会

日本工程院大学 日本

西村一仁，日本工程院院士，日本工学院大学荣誉教授。历任住友电工集团大阪金刚石工业株式会社主干研究员，日本工学院大学教授、系统设计部主任等职。

长期从事人造金刚石材料制备与超精密加工技术。领导开发了UPC系列金刚石超精密加工工具，被广泛应用于机械、光电、汽车等行业精密切削；成功研制了CVD金刚石涂层超光滑耐磨“菱封” 部件，应用于马自达转子发动机核心动密封部位，实现了金刚石润滑耐磨涂层在发动机高速动密封领域的工程化应用，三次获得日本精密工学“高城奖”。

 

关于金刚石抛光过程中去除率与样品温度之间的相关性，现有文献报道了截然相反的现象，这些现象由抛光方法和条件决定。学界普遍认为该现象源于不同抛光机制的作用差异，但文献中尚未提出有效解释。这可能是由于相关过程发生在亚微米尺度且持续时间极短，导致评估极为困难。本研究系统考察了不同抛光条件下（特别关注无磨料抛光垫情况）去除率与样品温度、加工表面织构、金刚石及抛光碟成分之间的关系。此外，通过分析金刚石附近的热成像图，我们评估了金刚石内部的热流分布，并对金刚石真实接触区域的温度进行了估算。